בשלב העיבוד, הפוטורזיסט אינו סובל שינויים קטנים. שינוי של 2°C בטמפרטורת החימום יגרום לעיוות בתכונות החומר לאחר החשיפה. חימום אינטנסיבי עלול לגרום לקריסה במבנה החומר. לכן, אנו משתמשים בנורה אינפרא-אדומה בחדר הנקי, כדי למנוע שינויים אלו במקום העבודה.
מה חשוב באמת? הנורה האינפרא-אדומה פוגעת ישירות בשכבת הפוטורזיסט באמצעות גלים אינפרא-אדומים קצרים, וכך מחממת את החומר עצמו, ולא את המשטח שעליו הוא נמצא. הנורה שומרת על טמפרטורה אחידה של ±0.1°C, והשובריות של התהליך היא ±0.05°C בין סדרות החימום השונות. המקור של האור הוא קוורץ-הלוגן, והוא מותקן בחדר נקי מסוג Class 1–100, שאינו פולט חלקיקים בזמן העבודה. צפיפות האנרגיה ניתנת לוויסות עבור סלילים בגדלים של 150 ממ עד 300 ממ, וקצב החימום נשלט כך שהשכבות הדקות יוכלו לעמוד בתנאי החימום השונים. המערכת פועלת 24/7 בסביבות הייצור, ללא עצירות בלתי מתוכננות, והשינויים בתכונות החומר נשארים ברמה של פחות מ-5% לאחר 5,000 שעות של פעילות.
זו הסיבה שהמערכת עובדת טוב בפועל: הדיוק התרמי שלה תואם את הדרישות של תהליך הליתוגרפיה. הנורה שומרת על הטמפרטורה הנכונה במהלך כל שלבי העיבוד, כך שהשליטה בממדים החשובים של החומר נשארת אחידה. רמת האחידות הגבוהה מפחיתה את הפגמים בשולי החומר, מקטינה את כמות החומרים החסרי תקן, ומקצרת את זמן העיבוד. צריכת האנרגיה נמוכה, והתגובה המהירה והחוזרת של הנורה מאפשרת שינויים מהירים מבלי לפגוע באיכות החומר.
כמה מציאותות מהשטח: הנורה דורשת מערכת חשמלית נפרדת בחדר הנקי, וכן חוטים שאינם מפריעים לתהליך החשיפה. כאשר משנים את גודל הסליל, יש לבצע התחמה קצרה וקליברציה של הנורה. הנורה פולטת חום רב, ולכן יש לטפל בה בהתאם לנהלי חדר הנקי. אנו מספקים גם ערכת תחליפים, כך שהתחזוקה לא תעכב את העבודה.