בחדרי הניקיון מסוג Class 1–100, חשוב מאוד לשמור על רמת טמפרטורה קבועה – כל שינוי של חצי מעלה בטמפרטורה עלול לגרום לשינויים בתכונות הפוטורזיסט. אם החימום יהיה חזק מדי בקצוות, עלולים להופיע כתמים על הוואפר. בחדרי ניקיון כאלה, חלקיק אחד בלבד מהתנור עלול לקלקל כל המוצרים. לכן, יוצרנו את התנורים באמצעות גופי חימום באינפרא-אדום, שמאפשרים שליטה בטמפרטורה באופן מדויק – על הוואפר עצמו, ולא בחלל התנור.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו משתמשים בגופי חימום באינפרא-אדום באורך גל קצר, שמאפשרים חימום מיידי, עם זמן תגובה של פחות משנייה. שליטה בלולאה סגורה מאפשרת שמירה על רמת טמפרטורה אחידה על פני הוואפר, בטווח של ±0.1°C. כך, גם בתהליכי חימום עדינים וגם בתהליכי חימום אינטנסיביים, התכונות של הפוטורזיסט נשארות בתוך הטווח המותר, לאורך כל סדרות הייצור. גוף החימום עשוי מפלדת אל-חלד, עם חיבורים אטומים וחומרים שאינם מפרישים חלקיקים, כך שהייצור נשאר נקי מחלקיקים. המבנה של התנור מאפשר שימוש בו בחדרי ניקיון, שבהם רמת הזיהום נמדדת בחלקיקים לכל רגל רבוע.
למה זה עובד בתהליכי ייצור אמיתיים? הפוטורזיסט רגיש לטמפרטורה – לכן, שמירה על רמת טמפרטורה אחידה מאפשרת שליטה טובה יותר בממדים הקריטיים של הוואפר, מה שמפחית את הצורך בעבודות תיקון ואת הפסולת. התגובה המהירה של גופי החימום מקצרת את זמן החימום, מבלי לגרום לעלייה יתרה בטמפרטורה. כך, קצב הייצור עולה. בנוסף, מכיוון שהחום מגיע ישירות לוואפר ולא לקירות ולמערכות האוורור, צריכת האנרגיה יורדת. זמן הפעולה הרציף הוא המדד האמיתי לאמינות של המערכת – מערכת זו פועלת 24/7, ללא הפסקות לא צפויות.
דברים שצריך לזכור: חימום באינפרא-אדום דורש קו ראייה ברור, כך שיש לוודא שהוואפר ממוקם במיקום הנכון ושהמרחק בינו לבין גופי החימום מתאים. אם הוואפר נמצא בצל של גוף החימום, עלולים להופיע אזורים קרים. לפני ההתקנה, יש לבדוק את המתח ואת התאמת החיבורים לבקר התנור. כמו כן, יש לוודא שמסלול האוורור מתאים לזרימת האוויר בחדר הניקיון. יש לבצע בדיקות תקופתיות של גופי החימום, כדי לשמור על רמת טמפרטורה אחידה.