웨이퍼용 맞춤형 적외선 히터

리소그래피 공정에서는 포토레지스트를 건조시키는 과정이 단순한 권장 사항이 아니라 반드시 준수해야 할 필수 조건입니다. 0.5°C만큼의 온도 변동이 있어도 치명적인 결과를 초래할 수 있으며, 고온 영역의 불균일성은 전체 생산량에 악영향을 미칩니다. 따라서 특정 공급업체...