IC용 단파 적외선 램프

Role 공정 현장에서는 열 예산이 선택 사항이 아니다. 소프트 베이크에서 1도만 빗나가도 포토레지스트 프로파일이 변한다. 하드 베이크를 너무 뜨겁게 돌리면 오버레이 드리프트가 빠르게 나타나며, 중요 치수가 규격을 벗어나기 전에 알게 된다. 그래서 우리는 IC용 단파...