
Прекратите нагрев воздуха: более эффективный способ работы производства
Давайте будем честны: заводы по производству полупроводников — это очень энергозатратные устройства. Если вы когда-либо работали с традиционными конвекционными печами, то знаете, о чем идет речь. Они просто излучают тепло, нагревая всё вокруг — воздух, стены, пол — лишь бы довести температуру пластины до нужного уровня. Это огромная трата электроэнергии.
Вот здесь и пригождаются сертифицированные инфракрасные лампы. Вместо того чтобы нагревать всю комнату, они направляют энергию непосредственно на саму пластину. Это гораздо более эффективный способ достижения целей экологичного производства, без ущерба для качества продукции.
Логика довольно проста.
Стандартное нагревание подобно попытке согреть дом, оставив переднюю дверь открытой и включив обогреватель на полную мощность. Инфракрасные лампы работают иначе: они используют электромагнитное излучение, которое движется по прямой линии. Энергия не будет иметь эффекта, пока не достигнет пластины или фоторезиста.
Таким образом, вы избегаете лишней траты энергии на нагрев стен помещения. Вы просто нагреваете саму пластину. Всё.
Применение в чистых помещениях
В производственных помещениях «приблизительно достаточно» не сработает. Необходима точность. Мы разработали эти лампы так, чтобы они могли быстро нагреваться и охлаждаться. Это значит, что лампа работает на полной мощности только тогда, когда действительно происходит процесс зажигания. Как только пластина движется, мощность снижается. Это эффективно.
Кроме того, поскольку загрязнение является серьезной проблемой в чистых помещениях, мы используем кварцевые корпуса высокой чистоты. Нет выделения газов, нет каких-либо нежелательных частиц. К тому же спектр излучения остается постоянным, поэтому глубина зажигания одинакова на всей поверхности пластины каждый раз.
Несколько моментов, на которые следует обратить внимание
Это не волшебство. Высокой плотности инфракрасные лампы излучают большое количество тепла. Хотя вы экономите много энергии, необходимо убедиться, что система охлаждения сможет справиться с этим теплом. Если система вентиляции не сможет уводить тепло из корпуса лампы, филаменты будут перегреваться слишком быстро.
Замена этих ламп — процедура, не требующая сложных действий. Но, пожалуйста, проверьте напряжение. Не хотите же вы испортить контроллер. Также убедитесь, что лампа расположена правильно. Нет смысла экономить энергию, если лампа случайно нагревает корпус оборудования вместо самой пластины.