Сокращение выбросов углерода на производстве с использованием инфракрасных нагревателей с золотым покрытием
Получение правильного теплового профиля на производстве полупроводников — это сложная задача. Большинство из нас сталкивались с традиционными конвективными печами, которые распространяют тепло повсюду. Это неэффективно.
Вот почему мы используем инфракрасные лампы с золотым покрытием.
Секрет заключается в самом покрытии. Обычная кварцевая лампа излучает тепло во все стороны. Но если добавить тонкий слой золота на поверхность кварца, все меняется. Золото действует как фильтр: оно отражает длинноволновое излучение обратно на филамент, а коротковолновую энергию направляет прямо на подложку.
По сути, тепло сосредотачивается там, где ему и нужно быть — на самой подложке, а не разогревается вся конструкция оборудования без необходимости.
Это очень быстро. Поскольку эти лампы имеют высокую мощность, время нарастания температуры минимально. Если сократить время обработки каждой пластины, то и потребляемая энергия также снизится.
Но есть несколько моментов, на которые следует обратить внимание. Во-первых, не экономьте на блоках питания. Эти лампы требуют большого количества электрической энергии. Если провода не справляются с пиковыми нагрузками, возникают падения напряжения, и температурный режим становится нестабильным.
И, ради всего святого, держите лампы чистыми. Один лишь отпечаток пальца или капля масла на поверхности кварца могут привести к перегреву лампы.
Таким образом можно добиться реального сокращения выбросов углерода на производстве. Мы часто говорим о снижении углеродного следа, но на производстве это связано прежде всего с процессом нагрева. Замена традиционных резистивных нагревателей на целенаправленные инфракрасные системы — один из самых простых способов достижения этой цели.
Вместо нагрева большого объема воздуха в камере используется излучение. Это простая замена для большинства традиционных процедур обработки. Конечно, система охлаждения все равно должна работать, чтобы справиться с концентрированным теплом, но общее количество энергии, потребляемое производством, значительно снижается.