Üretim alanında verimlilik, derecelerle ifade edilir; işte bu kadar basit. Fotoresistin yumuşak pişirilmesi sırasında meydana gelen 0,5°C’lik bir değişiklik ya da pişirme işlemi sırasında wafer üzerindeki soğuk bölgeler, kritik boyutların bozulmasına, parçacık sayısının artmasına ve iyi durumdaki parçaların atık haline gelmesine neden olabilir. Biz de bu tür termal sorunları ortadan kaldırmak için karbon nanotüp tabanlı ısıtıcılar geliştirdik.
Asıl önemli olan şeyler
Hızlı tepki veren, lokalize ısı üreten ve stabil emisyon değerlerine sahip olan karbon nanotüp ısıtıcıları kullandık. Bunu, enerjinin verimli bir şekilde aktarılması için kısa dalga boyundaki kızılötesi ışınlarla birleştirdik. Böylece aktif bölgede ±0,1°C’lik bir düzgünlük elde ediliyor ve ayar noktasının tekrarlanabilirliği ise ±0,2°C civarında oluyor. Kontrol mekanizmaları sayesinde termal denge sağlanıyor ve uzun süreli pişirme işlemleri sırasında da istikrar korunuyor. Bu tasarım sayesinde hiçbir parçacık oluşmuyor ve sistem Cleanroom Class 1–100 standartlarına uygundur. Kapalı devre sensörler sayesinde sistem, vardiya sonrasında bile sorunsuz olarak çalışmaya devam ediyor.
Litografi ve diğer alanlardaki avantajları
Litografide, doğru fotoresist viskozitesine ulaşmak ve çözücüleri uzaklaştırmak için tutarlı bir yumuşak pişirme işlemi gereklidir. Sert pişirme işlemlerinde ise desenin bozulmaması için tekrarlanabilir bir bağlanma işlemi gereklidir. Bizim ısıtıcılarımız, CD kontrolünün standartlar dahilinde kalmasını ve kenar bölgelerdeki değişikliklerin azalmasını sağlayan düzgünlük ve tekrarlanabilirliği sağlar. Waferler daha temiz ve kuru hale gelir; yüzey kusurları azalır ve yeniden işleme ihtiyacı düşer.
Hızlı tepki süresi, işlem süresini kısaltır. Verimli kızılötesi ışınlar ise her parti başına harcanan enerjiyi azaltır. Böylece işlem kapasitesi artar, atıklar azalır ve bakım aralıkları uzar.
Planlamanız gerekenler
Karbon nanotüp ısıtıcılar için, ekipmanınızın özelliklerine ve güvenlik kontrollerine uygun özel bir güç ve kontrol arayüzü gereklidir. Fotoresist ve substrat dizilimlerine göre ayarlamalar yapmak için kısa bir kurulum süresi gerekecektir.
Sistem sağlam olsa da, belirli ekipmanlarda chuck ve odanın termal bağlantısını mutlaka kontrol etmeniz gerekir; aksi takdirde istenen düzgünlük sağlanamaz. Ayarlamalar yapıldıktan sonra işlem istikrarlı bir şekilde devam eder. Vardiya değişiklikleri ise sadece siz karar verdiğinizde gerçekleşir.