На виробничому майданчику теплові зміни під час випалювання фотополімеру чи сушіння пластин не є просто перешкодою – вони також змінюють критичні параметри продукції та призводять до зниження якості. Ми створили нагрівальну лампу TEL для підтримки постійної температури під час кожного циклу обробки.
Що є важливим у цьому пристрої?
У ньому використовується галогенний випромінювач короткохвильового діапазону, розташований у корпусі з високочистого кварцу. Разом із цим використовується стратегія контролю з закритим контуром. Це дозволяє зберігати однорідність температури на рівні ±0,1°C. Реакція пристрою є швидкою, тож не виникає перевищень температури під час процедур м’якого та жорсткого випалювання.
У чистих кімнатах класу 1–100 утворення частинок є неприпустимим. Цей пристрій забезпечує стабільний рівень частинок навіть після тисяч циклів нагрівання. Повторюваність результатів залишається стабільною протягом 5 000+ годин, а відхилення температури залишається меншим за 5%.
Чому цей пристрій підходить для процесу обробки?
Літографія потребує точного контролю температури. Лампа забезпечує стабільні параметри нагрівання під час процедур м’якого та жорсткого випалювання, що допомагає зменшити кількість відходів та покращити контроль параметрів якості. Для очищення та сушіння пластин пристрій ефективно видаляє вологу з поверхні без створення теплових напруг, що дозволяє прискорити процес та скоротити використання матеріалів. У процесі упаковки пристрій швидко та рівномірно затверджує матеріали для упаковки, що дозволяє скоротити час обробки та споживання енергії. Результатом є менше необхідності повторної обробки, кращий контроль якості та прогнозовані терміни виконання завдань.
Ось практичні деталі:
Лампа може встановлюватися на стандартні платформи TEL за допомогою відповідних з’єднувачів. Однак необхідно точно дотримуватися параметрів розташування лампи відносно пластини – відстань між ними має бути менше декількох міліметрів. Перед початком роботи необхідно провести процедуру розігріву пристрою. Варто дотримуватися вказаних параметрів живлення, щоб зберегти термін служби випромінювача та зберегти однорідність температури на рівні ±0,1°C.