Trong quy trình sản xuất, độ dốc của đường cong nhiệt độ trên bề mặt bảng gia nhiệt không chỉ giúp làm nóng wafer mà còn quyết định các thông số quan trọng trong quy trình sản xuất. Chỉ cần có sự chênh lệch nhiệt độ vài độ trong quá trình nung mềm hay nung cứng thôi, cũng đủ khiến các kích thước quan trọng của wafer thay đổi, gây sai lệch về góc nghiêng của các bề mặt trên wafer, và khiến tỷ lệ sản phẩm đạt tiêu chuẩn giảm sút. Thiết bị gia nhiệt được sử dụng trong xưởng sản xuất của chúng tôi được thiết kế nhằm đảm bảo sự đồng đều về nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer, với độ chính xác lên đến ±0,1°C. Điều này giúp duy trì tính ổn định của lớp hóa chất phủ trên wafer trong suốt quá trình in ảnh và khắc.
Những yếu tố quan trọng Chúng tôi kết hợp các bộ phát sóng tia cực tím loại thạch anh-halogen với khối gia nhiệt có khối lượng nhiệt thấp, nhờ đó việc điều chỉnh nhiệt độ diễn ra nhanh chóng và chính xác. Hệ thống điều khiển sử dụng các cảm biến được calibrat cho từng vị trí trên bề mặt wafer, chứ không phải trên thân máy gia nhiệt. Nhờ đó, mức nhiệt độ được điều chỉnh sao cho phù hợp với điều kiện thực tế của wafer. Thiết bị này phù hợp với các tiêu chuẩn của phòng sạch cấp 1–100, không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào (đã được kiểm chứng trực tiếp), và có thể hoạt động 24/7 mà không cần ngừng hoạt động do sự cố. Độ chính xác của nhiệt độ được duy trì ở mức dưới 0,2% trong hơn 5.000 giờ hoạt động, giúp đảm bảo sự ổn định của quy trình sản xuất từ lô này sang lô khác.
Tại sao thiết bị này hiệu quả trong quá trình nung Trong các trạm nung, chúng ta cần đảm bảo rằng nhiệt độ luôn ở mức ổn định: nung mềm để loại bỏ các chất hòa tan, nung cứng để làm cứng lớp mặt nạ bảo vệ wafer. Nếu nhiệt độ cao quá, sẽ tạo thành lớp vỏ trên bề mặt wafer; ngược lại, nếu nhiệt độ thấp quá, sẽ còn lại các chất thừa trên bề mặt wafer. Thiết bị gia nhiệt này giúp duy trì nhiệt độ ở mức ổn định, giúp giảm lượng sản phẩm bị hỏng và rút ngắn thời gian xử lý. Mức tiêu thụ điện năng được điều chỉnh sao cho phù hợp với mức nhiệt cần thiết, nhờ đó giúp giảm chi phí vận hành mà vẫn giữ được tốc độ gia nhiệt mong muốn.
Một vài lưu ý thực tế Thiết bị này cần có nguồn điện riêng biệt và được bảo vệ kỹ lưỡng, đồng thời cần nguồn điện sạch và khô ráo – nếu không, độ đồng đều về nhiệt độ sẽ bị ảnh hưởng. Việc thay đổi các đầu nối trong quá trình sử dụng có thể khiến nhiệt độ thay đổi vài chục phần trăm độ. Bạn nên lập kế hoạch lắp đặt sao cho phù hợp với kích thước của thiết bị, và kiểm tra lại các thông số liên quan đến quy trình nung trước khi bắt đầu sử dụng. Chúng tôi cung cấp bảng calibrat và mẫu công thức cho quy trình nung mềm và nung cứng, nhưng việc tích hợp thiết bị vẫn phụ thuộc vào việc điều chỉnh sao cho phù hợp với bề mặt wafer và môi trường trong buồng nung.