Trong quy trình sản xuất, sự thay đổi nhiệt độ trong quá trình nung phim tỉ lệ hoặc sấy wafer không chỉ là một trở ngại mà còn khiến các kích thước quan trọng của wafer bị thay đổi, từ đó làm giảm hiệu suất sản xuất. Chúng tôi đã chế tạo bóng đèn TEL nhằm duy trì nhiệt độ ổn định trong suốt các chu kỳ xử lý.
Điều quan trọng ở bên trong
Bóng đèn này sử dụng nguồn sáng halogen tần số cao được đặt bên trong vỏ thủy tinh có độ tinh khiết cao. Ngoài ra, nó còn được trang bị hệ thống điều khiển vòng khép kín, giúp duy trì độ đồng đều của nhiệt độ ở mức ±0,1°C. Phản ứng của bóng đèn rất nhanh, vì vậy không xảy ra tình trạng nhiệt độ vượt quá mức cho phép trong quá trình nung.
Trong các phòng sạch loại 1–100, việc kiểm soát lượng hạt bụi là điều cực kỳ quan trọng. Thiết kế này giúp duy trì mức hạt bụi ổn định ngay cả sau hàng nghìn chu kỳ xử lý nhiệt. Độ lặp lại của kết quả xử lý vẫn ổn định trong hơn 5.000 giờ, với mức sai số dưới 5%.
Tại sao nó phù hợp với quy trình sản xuất
Quy trình in ấn bán dẫn đòi hỏi sự kiểm soát nhiệt độ chính xác. Bóng đèn này giúp tạo ra các mô hình nhiệt độ ổn định trong quá trình nung, từ đó giúp giảm lượng chất thải, kiểm soát chính xác kích thước wafer và giảm chi phí sản xuất.
Đối với việc làm sạch và sấy wafer, bóng đèn giúp loại bỏ hơi ẩm trên bề mặt wafer mà không gây ra áp lực nhiệt, giúp tăng tốc độ xử lý mà vẫn tiết kiệm chi phí. Trong quá trình đóng gói, bóng đèn giúp đông cứng chất kết dính một cách nhanh chóng và đồng đều, từ đó giảm thời gian sử dụng lò nung và tiết kiệm năng lượng. Kết quả là giảm số lần phải làm lại sản phẩm, đảm bảo chất lượng sản phẩm tốt hơn và lịch trình sản xuất ổn định hơn.
Chi tiết kỹ thuật
Bóng đèn này có thể được lắp vào các platform TEL thông thường, với các kết nối và phụ kiện tương thích. Tuy nhiên, việc căn chỉnh vị trí của bóng đèn rất quan trọng – khoảng cách giữa bóng đèn và wafer phải được kiểm tra chính xác trong quá trình lắp đặt.
Bạn cần chờ một khoảng thời gian ngắn để bóng đèn hoạt động ổn định trước khi sử dụng. Hãy tuân thủ các thông số về nguồn điện được chỉ định để bảo vệ bóng đèn và duy trì mức độ đồng đều nhiệt độ ở mức ±0,1°C.