در فرآیندهای لیتوگرافی، به سرعت متوجه میشوید که تغییر جزئی در دمای حرارتدهی، میتواند باعث تغییر در پروفایل فوتورزیست شود. همچنین، اگر حرارت در لبههای ویفر بیش از حد باشد، ممکن است لکههایی روی سطح ویفر ایجاد شود. در اتاقهای پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰، یک ذره کوچک نیز میتواند باعث از بین رفتن کل محموله تولید شده شود. بنابراین، ما از بخاریهای مادون قرمز برای حرارتدهی استفاده کردیم؛ این بخاریها دمای مناسبی را در سطح ویفر حفظ میکنند و اجازه نمیدهند حرارت به سایر قسمتهای اتاق سرایت کند.
موارد مهم از نظر فنی:
ما از منابع تابشی مادون قرمز با طول موج کوتاه برای حرارتدهی مستقیم استفاده میکنیم؛ این روش باعث پاسخ سریع درخواستهای حرارتی میشود. کنترل حلقه بسته، یکنواختی دما روی سطح ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میکند؛ بنابراین پروفایلهای حرارتی در هر محموله تولید شده، یکسان باقی میماند. بدنه بخاری از جنس فولاد ضدزنگ است؛ همچنین، اتصالات آن نیز بسته هستند و مواد استفاده شده در ساخت بخاری، موادی با میزان گاز خروجی کم هستند؛ این ویژگیها باعث میشود تولید هیچ ذرهای صورت نگیرد. ساختار بخاری نیز به گونهای طراحی شده که در شرایط اتاقهای پاکسازی، کارکرد آن به خوبی ادامه یابد.
چرا این روش در فرآیندهای واقعی مؤثر است:
فوتورزیست به دما حساس است؛ بنابراین، یکنواختی دما باعث کاهش لکههای روی سطح ویفر و کنترل بهتر ابعاد آن میشود؛ این امر منجر به کاهش کارهای تکراری و از بین رفتن محصولات ناقص میشود. پاسخ سریع بخاری به درخواستهای حرارتی، زمان حرارتدهی را کاهش میدهد؛ بنابراین بازدهی فرآیند افزایش مییابد. همچنین، از آنجایی که حرارت مستقیماً به سطح ویفر منتقل میشود، مصرف انرژی کاهش مییابد. زمان کارکرد مداوم، معیار واقعی قابلیت اطمینان سیستم است؛ این سیستم میتواند ۲۴ ساعته و ۷ روز در هفته، بدون هیچ توقفی، کار کند.
نکاتی که باید در نظر گرفت:
برای استفاده از حرارت مادون قرمز، نیاز به دید مستقیم وجود دارد؛ بنابراین، جهت و فاصله ویفر باید با چیدمان فضای اتاق پاکسازی همخوانی داشته باشد. اگر نور منبع تابشی مسدود شود، نقاط سردی روی سطح ویفر ایجاد خواهد شد. قبل از نصب، باید ولتاژ و سازگاری کابلها با کنترلر بخاری را بررسی کنید؛ همچنین، باید مسیر خروج گاز نیز با جریان هوای اتاق پاکسازی هماهنگ باشد. برای حفظ یکنواختی دما، باید به طور دورهای منابع تابشی را بررسی کنید.