Réduire les émissions de carbone dans les usines de semi-conducteurs grâce à des systèmes de chauffage à rayonnement infrarouge revêtus d’or
Il est très difficile d’obtenir un profil thermique optimal dans les usines de semi-conducteurs. La plupart d’entre nous ont déjà eu affaire à ces fours traditionnels à convection, qui dispersent la chaleur partout. C’est une perte inutile d’énergie.
C’est pourquoi nous optons pour des lampes à rayonnement infrarouge revêtues d’or.
Le secret réside dans le revêtement en or.
En effet, une lampe en quartz standard émet de la chaleur sur toute la surface. Mais lorsque l’on ajoute une fine couche d’or sur ce quartz, tout change. L’or agit comme un filtre : il renvoie les longueurs d’onde plus longues vers le filament, tandis que l’énergie infrarouge à courte longueur d’onde est dirigée directement vers la puce.
En somme, on concentre la chaleur là où elle doit être, c’est-à-dire sur le substrat, plutôt que de chauffer inutilement tout le système.
C’est rapide. Vraiment rapide.
Comme ces lampes génèrent des densités d’énergie très élevées, le temps de démarrage est quasi instantané. En réduisant le temps de traitement par puce, on diminue également la consommation d’énergie.
Mais il y a quelques points à prendre en compte.
Tout d’abord, ne négligez pas vos sources d’alimentation électrique. Ces tubes à rayonnement infrarouge consomment beaucoup de courant. Si votre système électrique ne peut pas gérer cette charge maximale, vous obtiendrez des baisses de tension, ce qui entraînera une irrégularité dans la température.
Et surtout, gardez-les propres. Même une simple empreinte digitale ou une petite tache d’huile sur le quartz peut créer des zones chaudes. Cela peut entraîner la destruction du tube.
Faire fonctionner réellement l’idée de l’“usine verte”.
Nous parlons beaucoup de décarbonation, mais dans les usines de semi-conducteurs, cela se résume généralement à l’étape de chauffage. Remplacer ces chauffages résistifs par des systèmes à rayonnement infrarouge revêtus d’or est l’une des solutions les plus simples.
Au lieu de chauffer un grand volume d’air dans une chambre, on utilise simplement le rayonnement. C’est un remplacement simple pour la plupart des processus de séchage traditionnels.
Bien sûr, le système de refroidissement doit toujours fonctionner pour gérer cette chaleur concentrée. Mais c’est là que l’on voit vraiment les avantages.