फैब्रिकेशन प्रक्रिया में, तापमान का स्तर बहुत ही महत्वपूर्ण होता है। फोटोरेजिस्ट को नरम करने की प्रक्रिया के दौरान 0.5°C का भी अंतर, या वेफर पर कहीं ठंडा हिस्सा होने से, उत्पाद के महत्वपूर्ण आयामों में गड़बड़ी हो सकती है; इससे कणों की संख्या बढ़ सकती है, और अच्छे उत्पाद भी बेकार हो सकते हैं। हमने ऐसे कार्बन नैनोट्यूब हीटर बनाए, ताकि इस प्रक्रिया में तापमान संबंधी समस्याओं को दूर किया जा सके।
क्या महत्वपूर्ण है?
हमने कार्बन नैनोट्यूब हीटिंग तत्वों का उपयोग किया, क्योंकि ये तेज़ी से प्रतिक्रिया देते हैं, स्थिर रहते हैं, एवं ऊर्जा को कुशलतापूर्वक प्रसारित करते हैं। इसके परिणामस्वरूप, वेफर पर तापमान स्थिर रहता है – ±0.1°C के भीतर; एवं सेटपॉइंट की पुनरावृत्ति ±0.2°C होती है। रैम्प कंट्रोल के कारण तापमान नियंत्रित रहता है, एवं लंबी प्रक्रियाओं के दौरान भी स्थिरता बनी रहती है। इस डिज़ाइन से कोई कण उत्पन्न नहीं होते, एवं यह क्लीनरूम क्लास 1–100 में भी काम कर सकता है। क्लोज्ड-लूप सेंसिंग के कारण यह लगातार काम करता रहता है, एवं कोई अप्रत्याशित रुकावट नहीं होती।
लिथोग्राफी एवं अन्य प्रक्रियाओं में इसका क्या लाभ है?
लिथोग्राफी में, सही फोटोरेजिस्ट विस्कोसिटी प्राप्त करने हेतु एक सुसंगत “सॉफ्ट बेक” प्रक्रिया आवश्यक है; जबकि “हार्ड बेक” प्रक्रिया में पैटर्न को स्थिर रखने हेतु दोहराव आवश्यक है। हमारे हीटर, ऐसी स्थिरता एवं पुनरावृत्ति प्रदान करते हैं, जिससे CD नियंत्रण बेहतर रहता है, एवं किनारों पर होने वाली त्रुटियाँ कम हो जाती हैं। वेफर साफ एवं خشک रहता है, एवं सतही दोष भी कम हो जाते हैं।
तेज़ प्रतिक्रिया से प्रक्रिया का समय कम हो जाता है, एवं कुशल NIR प्रोफाइल के कारण प्रति बैच में ऊर्जा की खपत कम हो जाती है। इससे प्रक्रिया के दौरान होने वाली रुकावटें कम हो जाती हैं, एवं रखरखाव की आवश्यकताएँ भी कम हो जाती हैं।
क्या योजना बनानी आवश्यक है?
कार्बन नैनोट्यूब हीटर हेतु एक विशेष पावर एवं कंट्रोल इंटरफेस आवश्यक है; ताकि यह आपके उपकरणों के आकार एवं सुरक्षा मानकों के अनुरूप काम कर सके। फोटोरेजिस्ट एवं सब्सट्रेट के अनुसार रैम्प प्रोफाइल को समायोजित करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है।
यह सिस्टम बहुत ही मजबूत है, लेकिन आपको अपने उपकरणों में तापमान संबंधी समस्याओं की जाँच अवश्य करनी होगी – अन्यथा स्थिरता बनी नहीं रहेगी। एक बार जब यह सिस्टम सही तरीके से सेट हो जाए, तो प्रक्रिया लगातार स्थिर रहेगी। शिफ्टें केवल तभी होंगी, जब आप ऐसा चाहेंगे।