फैब्रिकेशन प्रक्रिया में कार्बन कम करना: ओजोन-रहित आईआर लैंप क्यों बेहतर हैं?
सेमीकंडक्टर बनाने हेतु गर्मी आवश्यक है… लेकिन इस गर्मी को सटीक रूप से, एवं जल्दी ही प्राप्त करना आवश्यक है। लेकिन लंबे समय से हम ऐसा करने हेतु ऐसी विधियों का ही उपयोग करते रहे हैं… जो कि बहुत ही जटिल हैं।
अधिकांश हीटिंग सिस्टमों में ओजोन उत्पन्न करने वाले लैंपों का ही उपयोग किया जाता है। लेकिन ओजोन को नियंत्रित करना बहुत ही कठिन है… इसके लिए बहुत सारा पैसा एवं ऊर्जा खर्च करनी पड़ती है। यह तो बस उसी समस्या का समाधान है, जो लैंपों के कारण ही उत्पन्न होती है।
यही तो रहस्य है…
सामान्य शॉर्टवेव आईआर लैंप 185nm से 254nm तरंगदैर्घ्यों पर ही काम करते हैं… ऐसे में ऑक्सीजन अणु विभाजित हो जाते हैं, एवं ओजोन उत्पन्न हो जाता है। इसे रोकने हेतु हम विशेष कोटिंग वाले क्वार्ट्ज लैंपों का ही उपयोग करते हैं।
यह तो एक फिल्टर की तरह ही काम करता है… यह ओजोन उत्पन्न करने वाली अवांछित तरंगदैर्घ्यों को रोक देता है, लेकिन गर्मी को तो आने देता है।
ओजोन को दूर करने के बाद, आपको उच्च-ऊर्जा वाली हीटिंग सिस्टमों की आवश्यकता ही नहीं रह जाती… इससे प्रति वेफर पर खर्च होने वाली ऊर्जा में कमी आ जाती है… यह तो पृथ्वी के लिए भी अच्छा है, एवं बिजली बिल के लिए भी अच्छा है।
लेकिन यह कोई जादू नहीं है… इसमें भी कुछ चुनौतियाँ हैं…
ये लैंप बहुत ही घने होते हैं… ये गर्मी को सीधे ही सब्सट्रेट पर ही पहुँचाते हैं… न कि पूरे मशीन के चेसिस को गर्म करके… यह तो बहुत ही तेज़ है…
लेकिन चूँकि इतनी ऊर्जा एक छोटी ट्यूब के माध्यम से ही पहुँचाई जाती है, इसलिए लैंप का हेड बहुत ही गर्म हो जाता है… अगर आप ठीक से कूलिंग सिस्टम न बनाएं, तो समस्याएँ ही होंगी… कम हवा के कारण लैंप के फिलामेंट जल जाते हैं… यह तो एक सरल विनिमय है… आपको अत्यधिक दक्षता प्राप्त होती है, लेकिन आपको अपने कूलिंग सिस्टम को ठीक रखना ही होगा।
बदलाव करना आसान है…
सबसे अच्छी बात यह है कि अधिकांश पुरानी प्रणालियों में यह तो बस एक बदलाव ही है… आपको अपनी पूरी प्रणाली को फिर से बनाने की आवश्यकता ही नहीं है…
आपको बस रासायनिक सफाई प्रक्रियाओं से छुटकारा पा लेना ही है…
जब लोग “हरित कारखानों” की बात करते हैं, तो वे इसे बहुत ही जटिल बना देते हैं… लेकिन यह तो बस सामान्य तर्क ही है… कम उपकरणों का मतलब है कम ऊर्जा की आवश्यकता… कम ऊर्जा का मतलब है कम ऊर्जा-खपत… यह तो वास्तविक दुनिया में भी कार्य करने वाला ही एक सरल सिद्धांत है।