ウェーハを温かく保つために：なぜ私たちはトロリーに赤外線加熱を採用したのか ウェーハを処理工程間で移動させる際、温度は非常に重要です。長い間、対流式オーブンが使われてきましたが、正直なところ、それは効率の悪い方法です。数枚のウェーハを温かく保つためだけに、部屋全体を温めてしまうのです。 そこで私た...

ウェーハ製造ラインでの無駄な電力消費を止めましょう。 もし製造ラインをアップグレードするのであれば、電力を無駄にすることは、実質的にお金を捨てているようなものだということをご存知でしょう。ウェーハを加熱する際には、「大量の熱」だけでは不十分です。そのエネルギーが実際にウェーハの表面に届く必要があり...