ウェーハ製造ラインでの無駄な電力消費を止めましょう。
もし製造ラインをアップグレードするのであれば、電力を無駄にすることは、実質的にお金を捨てているようなものだということをご存知でしょう。ウェーハを加熱する際には、「大量の熱」だけでは不十分です。そのエネルギーが実際にウェーハの表面に届く必要があります。
問題は、一般的な石英ランプではエネルギーがあらゆる方向に漏れてしまうことです。そのため、高価な電力の多くが目的の場所に届かないのです。だからこそ、私たちは金メッキされた反射器を使用します。これにより、エネルギーの漏れを防ぐことができます。
金の驚異的な効果
一般的な赤外線放射源を考えてみてください。それは360度全方位にエネルギーを放出します。クリーンルーム内では、その熱の半分は筐体に当たったり、空気中に消えてしまいます。
この問題を解決するために、反射器に薄い金の層を追加します。金は赤外線を効果的に反射させるのです。光子が無駄に散逸するのを防ぎ、ウェーハの方に戻すのです。つまり、電力供給から得られるエネルギーはすべて有効に活用されるのです。
冷却についての注意点
ただ単に金メッキされたランプを古い装置に取り付けるだけでは不十分です。まずは冷却システムを確認する必要があります。
金は熱を非常に集中させるため、焦点部分の温度が上昇します。もし冷却システムがそれに対応できなければ、ランプの密封部が損傷したり、ウェーハの端が過熱したりする可能性があります。スイッチを入れる前に、必ず空気の流れやヒートシンクを確認してください。
実際の利点
これは単なる「改善」ではありません。プロセスの精度を高めることができるのです。
ウェーハ全体に均等に熱が行き渡り、ウェーハの温度も速く上昇します。また、欠陥の原因となる低温部分もなくなります。さらに、目標温度に達するために必要な電力を調整したり、主要な電力供給装置を交換しなくても、より高い温度を実現できます。つまり、作業がより簡単になるのです。