交換用ヒーター要素 IP65
迅速に更衣室を暖める方法 寒い更衣室で震えるのは誰にとっても嫌なことです。その問題を解決するためには、すぐに熱が届く必要があります。そこで、私たちは短波赤外線を利用した部品を製造しています。 部屋の空気全体を温めるのに時間を費やす代わりに、この部品は直接熱を体に送り込みます。すぐに効果が現れます。...
グローブボックス用赤外線ヒーター素子
故障したランプによって生産が止まってしまわないようにしましょう。
高負荷の半導体製造を行っている方なら、その恐ろしい状況をご存知でしょう。赤外線ランプが壊れてしまうと、単にヒーターが使えなくなるだけではありません。石英の破片やハロゲンガスがウエハーに降り注ぎます。本当にひどい状況です。そして、それ...
ウェーハ酸化用加熱素子
はじめに 当社では、ファンドエンドの製造工程で使用されるウェーハ酸化用の加熱素子を製造しています。これらは、頑丈で信頼性の高いクォーツ製ハロゲンランプであり、必要な場所に安定した高強度の赤外線熱を供給します。酸化処理室では、ウェーハ全体の温度が均一であること、そして停止時間がないことが、良い生産性...
ウェーハ乾燥オーブンの加熱素子
はじめに これらのオーブンが効果的に動作するための要素について、率直に話しましょう。単に普通のランプを使って済ませるわけではありません。ウェーハの乾燥のためには、加熱素子を一から設計しています。半導体製造においては、時間をかけても安定した、均一な熱が必要です。
これは短波赤外線放射体であり、制御さ...
アイクストロン・ヒーター要素の交換部品
製造現場では、Aixtron社のMOCVD反応器が、各ウェーハの歩留まりを決定するための温度制御を行います。もしヒーター要素に不具合が生じると、温度の均一性が崩れ、再現性も低下し、再び認証プロセスを行う必要があります。私たちは、このような問題を防ぐために、Aixtron社製のヒーター要素の予備部品...