アイクストロン・ヒーター要素の交換部品

製造現場では、Aixtron社のMOCVD反応器が、各ウェーハの歩留まりを決定するための温度制御を行います。もしヒーター要素に不具合が生じると、温度の均一性が崩れ、再現性も低下し、再び認証プロセスを行う必要があります。私たちは、このような問題を防ぐために、Aixtron社製のヒーター要素の予備部品...