ウェーハ処理装置用温度センサー
ランプの故障によって生産ラインが止まってしまうのを防ぎましょう。
大量生産のワイファープロセスにおいて、ランプが壊れるのは大きな問題です。しかし、石英管が破裂してしまったら、それは本当に悪夢です。
そうなると、ガラスの破片や化学物質がワイファーの上に降り注ぎます。一度でも破損してしまうと、全体の製...
スマートセンサーパッケージング 赤外線
もう、温度を推測するのはやめましょう。ファブ内での赤外線センシングの実際の効果を見てみましょう。
現代のファブを構築しようとするなら、まず行うべきことは、手動での温度チェックを廃止することです。正直言って、ハンドヘルド型のプローブを使ったり、古い方式の記録に頼るのはもはや効果的ではありません。私た...
ウェーハ用高精度IRセンサー
半導体製造工場における炭素削減:なぜ精密赤外線が最適なのか
最近、半導体製造工場の設計において炭素中性化について話し合われています。正直なところ、その鍵は「どのようにして加熱するか」という点にあるのです。従来の抵抗式ヒーターは、無駄が多く、チャンバ全体を温めようとします。これは、コーヒー1杯を温め...
MEMSセンサーワイヤー乾燥ヒーター
MEMSウエハを乾燥させるのに時間を無駄にしないでください。
もし、エッチングや洗浄後に依然として強制送風式の熱風を使ってウエハを乾燥させているなら、それは単に無駄な時間の浪費に他なりません。
多くの工場でこのような状況が見られます。熱風は安全そうに思えますが、実際には遅いのです。まず空気を加熱し...
水素センサー製造用ヒーター
はじめに 私たちは、水素センサーの製造において、直接使用できる赤外線加熱装置を開発しています。そのアイデアはシンプルです。つまり、必要な場所に迅速かつ正確に熱を供給し、工場に余分な炭素負荷を与えないのです。このシステムは、エネルギー密度と制御が特に重要となる水素センサー製造の工程に焦点を当てていま...