半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

ウェーハを温かく保つために：なぜ私たちはトロリーに赤外線加熱を採用したのか ウェーハを処理工程間で移動させる際、温度は非常に重要です。長い間、対流式オーブンが使われてきましたが、正直なところ、それは効率の悪い方法です。数枚のウェーハを温かく保つためだけに、部屋全体を温めてしまうのです。 そこで私た...