カーボンナノチューブ製造用ヒーター

製造現場においては、精度は単純に度数で表されます。フォトレジストのソフトベイク時に0.5℃の誤差が生じたり、硬化処理中にウェーハの一部が低温になったりすると、重要な寸法が狂ったり、粒子数が増えたりして、良好なチップが廃棄物になってしまいます。私たちは、このような問題を解決するために、炭素ナノチュー...