時間の無駄をやめよう：なぜ真空赤外線ヒーターが効果的なのか 半導体の処理に関わったことがある人なら、ウェーハが適切な温度になるまで待つという苦労を知っているはずです。長い間、私たちはチャンバー内に熱い空気を送り込むしかありませんでした。確かにそれでも機能はしましたが、速度が遅く、また、温度分布も完...

半製品の炭素排出量を削減するには：なぜ真空赤外線が最適なのか クリーンルームで作業したことがある人なら、その手順はよくわかるでしょう。熱を加える際には極めて高い精度が求められますが、酸化や不純物によってすべてを台無しにしないためには、真空状態で行う必要があります。 長年にわたり、私たちは従来の抵抗...