IR硬化処理をより効率的に行う方法 ウェーハを乾燥させたり、フォトレジストを硬化させる際には、巨大な金属製の装置を加熱するのに時間を費やしたくありません。そのため、UHP（超高純度）ヒーターランプを使用します。 これは、オーブン全体を予熱するのと、トースターを使うのとの違いに似ています。空気を温め...

なぜ、私たちはバスルーム用のランプを「蒸気室」でテストするのか？ 正直に言って、バスルームという環境は電子機器にとっては地獄のような場所です。濃い蒸気、激しい温度変化、そして常に高い湿度があります。もし、単に乾燥した作業台でランプの性能をテストして「問題ない」と判断したとしても、実際のシャワー環境...

なぜ私たちは赤外線ヒーターをモジュール式に設計したのか 正直に言って、天井の高い倉庫で機器のメンテナンスを行うのは大変な作業です。 例えば、30フィートも上の場所でヒーターの部品が壊れてしまったら、簡単に修理できるわけではありません。シザーリフトを借りたり、作業エリアを確保したりして、単一の部品を...

序論 ウエハーの製造において、適切な温度管理は単なる細かい点ではありません。それは、良質な製品を得るか、全滅させるかの分かれ道なのです。もしプロセスで0.1度という精度での温度管理が求められる場合、加熱機能は後回しにしてはいけません。それは、正確に調整された装置のように機能しなければなりません。...