ステンレススチール製ヒーターハウジング製作

リソグラフィーフロアにおけるフォトレジストの厳格さ リソグラフィーフロアでは、フォトレジストはドリフトを許しません。ソフトベイクまたはハードベイクプロファイルの2℃の変化で、クリティカルディメンションコントロールが崩れ、ラインが停止します。我々は、熱的安定性が「あれば便利」ではなくプロセスそのもの...