TEL 東京エレクトロン ヒーターランプ

ファブの現場では、フォトレジストの焼成やウェーハの乾燥時に生じる熱変動は、単なるボトルネックにとどまらない。これにより、重要な寸法が変化し、結果として歩留まりが低下する。私たちは、プロセス温度を回を重ねても安定させるためにTELヒーターランプを開発した。 内部で何が重要か 高純度の石英製ケースの中...