UHP 超高純度 ヒーターランプ

IR硬化処理をより効率的に行う方法 ウェーハを乾燥させたり、フォトレジストを硬化させる際には、巨大な金属製の装置を加熱するのに時間を費やしたくありません。そのため、UHP（超高純度）ヒーターランプを使用します。 これは、オーブン全体を予熱するのと、トースターを使うのとの違いに似ています。空気を温め...