ランプの故障によって生産ラインが止まってしまうのを防ぎましょう。 大量生産のワイファープロセスにおいて、ランプが壊れるのは大きな問題です。しかし、石英管が破裂してしまったら、それは本当に悪夢です。 そうなると、ガラスの破片や化学物質がワイファーの上に降り注ぎます。一度でも破損してしまうと、全体の製...

序論 ウエハーの製造において、適切な温度管理は単なる細かい点ではありません。それは、良質な製品を得るか、全滅させるかの分かれ道なのです。もしプロセスで0.1度という精度での温度管理が求められる場合、加熱機能は後回しにしてはいけません。それは、正確に調整された装置のように機能しなければなりません。...