ウェーハを温かく保つために：なぜ私たちはトロリーに赤外線加熱を採用したのか ウェーハを処理工程間で移動させる際、温度は非常に重要です。長い間、対流式オーブンが使われてきましたが、正直なところ、それは効率の悪い方法です。数枚のウェーハを温かく保つためだけに、部屋全体を温めてしまうのです。 そこで私た...

推測をやめて、スマートファブの温度管理を改善しよう デジタル化されたインダストリー4.0型の工場を構築しているなら、従来の対流式加熱ではもはや十分でないことに気づいているはずです。速度が遅すぎるし、管理も大変です。 そのため、私たちは赤外線方式を採用しています。この方式の利点は、加熱源が周囲の空気...

ウェーハ製造ラインでの無駄な電力消費を止めましょう。 もし製造ラインをアップグレードするのであれば、電力を無駄にすることは、実質的にお金を捨てているようなものだということをご存知でしょう。ウェーハを加熱する際には、「大量の熱」だけでは不十分です。そのエネルギーが実際にウェーハの表面に届く必要があり...

露光工程においては、フォトレジストはわずかなズレも許しません。ソフトベイク時に2℃のズレがあると、露光後に特徴の歪みが生じます。ハードベイクでは端部分が過度に加熱され、エッチングプロファイルが崩れてしまいます。そのため、ウェルフロー環境下で粒子を発生させない、クラス1～100に適合したクリーンルー...

リソグラフィーの現場では、わずか0.5度の温度変化だけでフォトレジストの特性が変わってしまうことを早々に学びます。また、ハードベイク時に端の部分が過度に加熱されると、トラック上に汚れが発生してしまいます。クラス1～100のクリーンルームでは、ヒーターから出る1つの粒子だけで、大量の製品が台無しにな...

寮の部屋で過ごす冬の夜は、快適さを単なる数値的な問題に変えてしまいます。建物の暖房が効かず、空気が冷たくなり、体は体温を維持するために必死に努力します。従来のファンや対流式ヒーターはほこりや騒音を発生させるため、深い眠りにつくのは難しいです。私たちが開発したこの赤外線式寮用ヒーターは、静かで直接的...

地下室は常に家の他の部分よりも冷たく感じ、そのひんやりとした感覚は通常湿気を伴います。空気は重く、表面はじめっとしており、従来の暖房では床近くの冷たい層を突破することができません。そんな不快な状態では、部屋を避けてしまい、結局はそのスペースを利用せずに物を収納することになります。 コンパクトな壁掛...