ウェーハ処理装置用温度センサー

ランプの故障によって生産ラインが止まってしまうのを防ぎましょう。 大量生産のワイファープロセスにおいて、ランプが壊れるのは大きな問題です。しかし、石英管が破裂してしまったら、それは本当に悪夢です。 そうなると、ガラスの破片や化学物質がワイファーの上に降り注ぎます。一度でも破損してしまうと、全体の製...