省エネ型ウェーハヒーター

なぜウェーハヒーターの絶縁試験にこだわるのか 高真空環境でウェーハを加熱する際には、ミスの余地は一切ありません。わずかな電気漏れがあっただけで、そのロット全体が台無しになり、ラインも停止してしまいます。これは大変な問題です。 私たちは、厳しい温度変化に耐えられるようにヒーターを設計していますが、真...