열 낭비를 멈추세요: 왜 금으로 만든 반사체가 중요한가?
반도체 제조 과정에서 낭비되는 1와트의 에너지는 결국 돈의 손실을 의미합니다.
대부분의 사람들은 일반적인 알루미늄 반사체를 사용합니다. 그것도 괜찮지만, 적외선 에너지가 틈새로 새어나가는 문제가 있습니다. 그 결과 웨이퍼에 “추운 부분”이 생기고, 전력 비용도 비정상적으로 올라갑니다.
우리는 더 나은 방법을 찾았습니다. 금 코팅을 사용하여 그렇게 새어나가는 에너지를 다시 원래 위치로 보냅니다.
왜 금일까? (단순히 외형 때문만은 아닙니다)
알루미늄도 신뢰할 수 있는 재료이지만, 장파장의 적외선에는 효과가 떨어집니다. 반면 금은 광자를 목표 지점으로 되돌려보내는 데 매우 효율적입니다.
간단히 말해, 금을 사용하면 전원에서 얻는 모든 에너지가 웨이퍼에 정확하게 전달됩니다. 그 결과 열이 고르게 분산되고, 무작위적으로 퍼지는 현상이 없습니다.
정확한 초점 설정
코팅만으로는 충분하지 않습니다. 형태도 중요합니다.
금 층과 정확한 포물선 또는 타원형 곡선을 결합함으로써, 필요한 곳에 열을 집중시킬 수 있습니다. 이렇게 하면 웨이퍼가 훨씬 빠르게 가공 온도에 도달합니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다.
이러한 반사체는 열을 매우 효과적으로 반사하기 때문에, 작업물에 더 많은 에너지가 전달됩니다. 그로 인해 주변 기기가 예상보다 빨리 달아올라버릴 수 있습니다. 만약 기계의 구조가 그러한 추가적인 열 부하를 감당할 수 없다면, 기계가 변형될 수도 있습니다. 반드시 주의해야 합니다.
공장에서의 활용 방법
가장 좋은 점은, 전체 설비를 다시 만들 필요가 없다는 것입니다. 이러한 반사체들은 기존의 적외선 램프와 호환되도록 설계되었습니다.
우리는 “방사율 문제”에 많은 시간을 투자했습니다. 반사체 자체가 열을 흡수하지 않도록 함으로써, 하드웨어가 거대한 열 싱크처럼 작동하는 것을 방지했습니다.
그 결과, 기계의 프레임을 데우는 데 드는 에너지가 절약되고, 그 에너지가 웨이퍼에 전달됩니다. 이는 전기 인프라를 바꾸지 않고도 처리 속도를 높일 수 있는 간단한 방법입니다.