에너지 효율적인 웨이퍼 히터

왜 웨이퍼 히터의 절연 성능을 꼭 확인해야 하는가? 고진공 환경에서 웨이퍼를 가열할 때는 오류가 있을 여지가 전혀 없습니다. 아주 작은 전기 누출만 있어도 모든 것이 망가집니다. 그러면 제품 생산이 중단되고, 큰 문제가 발생합니다. 우리는 히터가 혹독한 열적 변화에도...