스테인리스 스틸 히터 하우징 제작

리소그래피 라인에서 포토레지스트는 온도 편차를 허용하지 않는다. 소프트 베이크나 하드 베이크 프로파일이 2°C만 변해도 치수 제어가 흔들리고, 결국 라인이 멈춘다. 우리는 열 안정성이 단순한 “추가 조건”이 아닌 공정의 핵심인 웨이퍼 팹을 위해 스테인리스 스틸 히터...