왜 우리가 대류식 오븐 대신 적외선을 사용하는가? 솔직히 말해서, 대류식 오븐은 다소 구식입니다. 오랫동안 반도체 제조 과정에서 부품을 건조시키거나 경화시키는 데 사용되어 왔지만, 이제는 상황이 변하고 있습니다. 이제는 대부분의 사람들이 적외선 기술을 선호합니다. 이...

웨이퍼를 따뜻하게 유지하기: 왜 우리는 트롤리에 적외선 가열 방식을 사용하는가? 웨이퍼를 한 가공 단계에서 다른 단계로 옮길 때는 온도가 매우 중요합니다. 오랫동안는 대류식 오븐이 주로 사용되었지만, 솔직히 말해 그건 낭비입니다. 몇 개의 웨이퍼를 따뜻하게 유지하기...

반도체 히터의 단락을 방지하는 방법 반도체 산업에서는 아주 작은 전기 방전이나 미세한 전류 누설만으로도 전체 웨이퍼가 망가질 수 있습니다. 이는 정말 끔찍한 상황입니다. 그래서 우리는 테프론(PTFE)으로 코팅된 전선을 사용합니다. 테프론은 열에 강하기 때문에, 히터...

금으로 코팅된 적외선 히터를 사용하여 공장 내의 탄소 배출을 줄이는 방법 반도체 공장에서 정확한 온도 조절을 하는 것은 매우 어려운 일입니다. 우리 대부분은 열이 사방으로 퍼져나가는 구식 대류 오븐을 사용해본 경험이 있을 것입니다. 이는 에너지 낭비일 뿐입니다. 그래...

반도체 생산 과정에서 적외선을 활용한 치료 기술로 환경을 보호하기 솔직히 말해서, 전통적인 대류식 오븐들은 엄청난 양의 에너지를 소비하는 장치에 불과합니다. 반도체 산업에서는 ‘무납화’와 ‘친환경적인 방식’을 추구하고 있지만, 웨이퍼를 건조시키기 위해 엄청난 양의 공...

패키징 직전의 공정에서, 웨이퍼는 최종 청소 공정을 거친 후에 나옵니다. 이때부터 시간이 계속 흐르기 시작합니다. 웨이퍼 표면에 남아 있는 수분은 문제를 야기할 수 있습니다. 수분으로 인해 기공이 생기거나, 층간 분리가 발생하며, 결국 제품의 품질이 저하됩니다. 조금...

팹에서는 웨이퍼 단계의 특성 분석 및 포토레지스트 건조 과정에서 온도 변동이라는 문제가 발생합니다. 이는 단순히 추상적인 지표가 아니라, 선폭 오차나 잔여 필름 형성, 수율 저하와 같은 실제적인 문제로 나타납니다. 우리는 이러한 변동성을 제거하기 위해 반도체 소자 특...

리소그래피 작업 현장에서는 소프트 베이크 시 0.5도 정도의 편차가 웨이퍼 전체 라인폭 변화로 바로 나타난다는 것을 빠르게 알게 된다. 또한 하드 베이크가 균일하지 않으면 스커밍이 발생하여 수시간 작업이 폐기될 수 있다. 열적 안정성은 ‘있으면 좋은...