클린룸 오븐 적외선 히터

리소그래피 공정에서는, 약간의 온도 변화만으로도 포토레지스트의 특성이 변할 수 있다는 것을 빠르게 깨닫게 됩니다. 또한, 하드 베이크 과정에서 가장자리 부분의 온도가 너무 높아지면, 웨이퍼 표면에 이상 현상이 발생하게 됩니다. 클래스 1–100 등급의 청정실에서는,...