Di kawasan pengeluaran, bahan photoresist tidak dapat bertoleransi terhadap sebarang perubahan kecil dalam suhu. Jika suhu semasa proses pembakaran berubah sebanyak 2°C, ia akan menyebabkan masalah pada hasil cetakan akibat pengekalan bahan pelarut yang digunakan. Proses pembakaran yang intensif pula akan menyebabkan bahagian tepi wafer menjadi panas, sehingga menjejaskan kualiti permukaan wafer tersebut. Kami menggunakan lampu inframerah di bilik bersih untuk mengurangkan variasi suhu tersebut.
Apa yang penting dalam sistem ini
Lampu NIR memancarkan sinar inframerah berfrekuensi rendah secara langsung ke lapisan photoresist, lalu memanaskan lapisan tersebut tanpa mempengaruhi komponen lainnya. Suhu yang dihasilkan adalah seragam, iaitu dalam lingkungan ±0.1°C, manakala ketepatan pengulangan proses pembakaran pula adalah ±0.05°C. Lampu ini diperbuat daripada kuarsa-halogen, dan dipasang dalam kotak khas yang sesuai dengan standard bilik bersih kelas 1–100, agar tidak ada zarah-zarah yang terlepas semasa proses pembakaran. Kekuatan tenaga yang digunakan boleh disesuaikan untuk wafer berukuran 150 mm hingga 300 mm. Sistem ini beroperasi 24/7 tanpa sebarang gangguan, dan variasi hasil cetakan tetap berada di bawah 5% setelah 5,000 jam operasi.
Alasan mengapa sistem ini efektif: ketepatan suhu yang dihasilkan sesuai dengan keperluan proses litografi. Lampu ini dapat mengawal suhu dengan baik semasa proses pembakaran, sehingga dimensi produk tetap konsisten. Ketepatan suhu yang tinggi membantu mengurangkan kecacatan pada permukaan wafer, mengurangkan jumlah bahan buangan, dan memendekkan masa yang diperlukan untuk proses pengujian. Penggunaan tenaga juga efisien, dan respons yang cepat memudahkan proses perubahan jenis wafer tanpa menjejaskan kualitas hasil cetakan.
Beberapa faktor praktikal
Lampu ini memerlukan sumber kuasa khusus serta kabel yang bebas daripada gangguan EMI, agar tidak mempengaruhi alat-alat pengeluaran. Apabila menukar saiz wafer, perlu dilakukan proses pemanasan sebentar dan kalibrasi suhu terlebih dahulu. Lampu ini menghasilkan haba yang tinggi, jadi ia perlu dikendalikan mengikut protokol bilik bersih. Kami menyediakan kit khusus untuk pembaikan, agar proses penyelenggaraan dapat dilakukan dengan cepat.