
Mengurangkan pelepasan karbon di fasiliti pembuatan semikonduktor menggunakan lampu inframerah berlapis emas
Untuk mencapai suhu yang tepat dalam fasiliti pembuatan semikonduktor merupakan cabaran yang besar. Kebanyakan kita pernah menggunakan ketuhar konvensional yang menyebabkan haba tersebar ke merata tempat. Ini merupakan pembaziran tenaga.
Itulah sebabnya kita menggunakan lampu inframerah berlapis emas. Rahsianya terletak pada lapisan emas tersebut. Lampu kuarsa biasa akan memancarkan haba ke seluruh arah. Namun, dengan adanya lapisan emas yang tipis, segalanya berubah. Emas berfungsi sebagai penapis; ia memantulkan gelombang panjang kembali ke filamen, sementara tenaga inframerah berfrekuensi rendah ditujukan langsung ke wafer. Dengan cara ini, haba dapat difokuskan ke tempat yang sepatutnya, iaitu pada substrat, bukannya memanaskan keseluruhan komponen mesin tanpa sebab.
Prosesnya sangat cepat. Kerana lampu ini menghasilkan intensiti tenaga yang tinggi, masa yang diperlukan untuk memanaskan wafer menjadi sangat singkat. Dengan penggunaan sistem ini, penggunaan tenaga elektrik juga akan berkurangan.
Namun, ada beberapa perkara yang perlu diperhatikan. Pertama, jangan kurangkan kuasa bekalan elektrik yang digunakan. Lampu ini memerlukan arus yang tinggi. Jika sistem kabel tidak mampu menanggung beban tersebut, tekanan voltan akan turun, dan keseragaman suhu akan terganggu. Selain itu, pastikan lampu tersebut sentiasa bersih. Sebarang kesan cap jari atau kotoran minyak pada permukaan kuarsa boleh menyebabkan haba tertumpu di satu tempat, sehingga menyebabkan lampu rosak.
Mencipta “kilang hijau” yang efektif.
Kita sering bercakap tentang pengurangan pelepasan karbon, tetapi dalam fasiliti pembuatan semikonduktor, hal ini berkait rapat dengan proses pemanasan. Menggantikan pemanas konvensional dengan sistem inframerah merupakan cara yang mudah untuk mencapai tujuan ini. Daripada memanaskan udara di dalam bilik, kita menggunakan radiasi sebagai cara pemanasan. Ini merupakan pengganti yang mudah untuk proses pemanasan tradisional.
Sudah tentu, sistem penyejukan masih diperlukan untuk menguruskan haba yang terkumpul. Namun, penggunaan tenaga elektrik secara keseluruhan akan berkurangan. Inilah kelebihan sebenar penggunaan sistem ini.