Cara yang Lebih Baik untuk Proses Pengeringan Menggunakan Sinar Inframerah
Ketika kita ingin mengeringkan wafer atau memproses bahan fotoresist, kita tidak mahu membuang masa dengan memanaskan kotak logam yang besar. Itulah sebabnya kita menggunakan lampu pemanas jenis UHP (Ultra High Purity).
Bayangkanlah perbezaannya antara menunggu seluruh ketuhar dipanaskan sepenuhnya berbanding menggunakan pemanggang roti. Lampu ini memancarkan sinar inframerah jarak dekat terus ke permukaan bahan yang akan diproses. Ia merupakan cara yang efisien dan cepat.
Kita menggunakan filamen tungsten yang berkualiti tinggi yang dilapisi dengan kuarsa berkualiti tinggi untuk menciptakan efek ini. Gelombang inframerah tersebut akan mengenai bahan semikonduktor dan segera bertukar menjadi haba. Dengan cara ini, tenaga tidak dibazirkan untuk memanaskan dinding mesin – haba akan sampai tepat ke tempat yang diperlukan. Ini merupakan cara yang lebih bijak untuk menjimatkan tenaga.
Selain itu, ada aspek “mesra alam” juga. Jika kita menggunakan bahan solder tanpa plumbum atau kaedah pengeringan yang mesra alam, julat suhu yang digunakan sangat sempit. Jika suhu terlalu tinggi, bahan tersebut akan rosak. Jika suhu terlalu rendah, ikatan antara bahan-bahan tersebut tidak akan stabil.
Kelebihan lampu UHP ialah ia dapat bertindak balas dalam masa milisaat saja. Kita boleh menghidupkan atau mematikan haba tersebut dengan segera. Kerana kawalan yang sangat teliti, kita tidak perlu menggunakan bahan kimia berbahaya atau bahan pengawet yang biasa digunakan sebelum ini. Tiada VOC, tiada plumbum. Hanya haba yang bersih sahaja.
Namun, ada satu masalah. Lampu ini menghasilkan banyak haba dalam ruang yang kecil. Ini memberi tekanan yang besar pada sistem penyejukan. Jika kipas atau alat penyejuk tidak berfungsi dengan baik, komponen elektronik di sekitar lampu akan rosak. Kita perlu mencari keseimbangan antara output lampu dan kemampuan sistem penyejukan untuk menghilangkan haba tersebut. Jika tidak, komponen-komponen tersebut akan rosak dengan cepat.
Oleh kerana lampu ini digunakan di bilik bersih, kita perlu memastikan kuarsa yang digunakan tidak mengeluarkan gas berbahaya. Dengan cara ini, tiada bahan berbahaya yang akan terlepas dari lampu dan merosakkan wafer semasa proses pengeringan berlangsung. Sangat mudah, bersih, dan berkesan.