Stop met tijd verspillen: waarom vacuüminfrarode verwarmers echt werken
Als je ervaring hebt met de bewerking van halfgeleiders, weet je hoe frustrerend het kan zijn om te moeten wachten tot een wafer de juiste temperatuur heeft bereikt. Lang hebben we hete lucht gebruikt om de kamer te verwarmen. Dat werkte wel, maar het was langzaam. En eerlijk gezegd was de temperatuurverdeling ook nooit perfect.
Daarom is het zo fijn om over te stappen op vacuüminfrarode verwarmers. In plaats van lucht te gebruiken om warmte over te dragen, maken deze verwarmers gebruik van stralingsenergie. De energie raakt rechtstreeks het materiaal.
Stel je voor dat het om de zon gaat: je voelt niet eerst dat de lucht rondom je heet wordt, maar je voelt direct de hitte op je huid. In een vacuümkamer doen IR-lampen hetzelfde. Omdat ze geen lucht nodig hebben om energie over te dragen, hoef je geen tijd te verspillen aan het opwarmen van de hele ruimte, alleen maar om één stuk silicium op te warmen. Je bereikt de gewenste temperatuur in seconden. Geen need om te wachten op het bereiken van de gewenste temperatuur. Je hebt dan een constante temperatuur en kunt verder werken.
Maar er is één probleem: werken in een vacuüm verandert de regels voor de hardware. Zonder lucht om de hitte weg te halen, kan het gevaarlijk heet worden. We moeten dus slim te werk gaan. We gebruiken gespecialiseerde kwartsomhullingen en filamenten met hoge wattdichtheid, zodat de warmte echt naar het materiaal gaat en niet alleen de wanden van de kamer wordt opgewarmd.
Houd ook goed in de gaten hoe je het koelsysteem gebruikt. IR-lampen bevatten veel energie in een klein gebied. Als je koelsystemen niet goed zijn gemonteerd, kunnen ze beschadigd raken. Dat is zeker iets wat je wilt vermijden.
Uiteindelijk draait het allemaal om de productiviteit. Als je de tijd die nodig is voor het opwarmen en afkoelen van het materiaal verminderd, neemt de ‘tijdkost’ per lading drastisch af. Voor veel oude apparaten kun je gewoon de verwarmer vervangen en meteen resultaten zien.
Een tip: je kunt deze verwarmers niet zomaar gebruiken. Precisie is hier belangrijk. Als de lamp niet precies op de juiste plek staat, ontstaan er hete punten en wordt de uniformiteit van de temperatuur verstoord. Zorg dat de focusafstand en de alignering goed zijn ingesteld, dan zal je de productiviteit zien stijgen. Het vereist wat werk aan het begin, maar het is het waard.