ในห้องผลิต ค่าอุณหภูมิของแผ่นร้อนนั้นไม่ได้มีหน้าที่เพียงแค่ทำให้แผ่นวีเซอร์ร้อนขึ้นเท่านั้น แต่ยังมีบทบาทสำคัญในการกำหนดช่วงอุณหภูมิที่เหมาะสมสำหรับกระบวนการผลิตอีกด้วย การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียงไม่กี่องศาในระหว่างขั้นตอนการอบก็เพียงพอที่จะส่งผลให้ขนาดต่างๆ เปลี่ยนไป มุมของผนังด้านข้างเปลี่ยนไป และทำให้คุณภาพของผลิตภัณฑ์ไม่เป็นไปตามมาตรฐานได้ เครื่องทำความร้อนที่ใช้ในห้องผลิตของเราถูกออกแบบมาเพื่อรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในระดับแผ่นวีเซอร์ โดยรักษาอุณหภูมิให้อยู่ในช่วง ±0.1°C เพื่อให้โครงสร้างของสารฟอโตเรซิสต์ยังคงมีความสม่ำเสมอตลอดกระบวนการลิโทกราฟีและการกัด
สิ่งที่สำคัญจริงๆ เราใช้เครื่องปล่อยคลื่นความถี่สั้นแบบควอตซ์-ฮาโลเจนร่วมกับบล็อกทำความร้อนที่มีมวลความร้อนต่ำ เพื่อให้การเพิ่มอุณหภูมิเกิดขึ้นอย่างรวดเร็วและสามารถทำซ้ำได้ ระบบควบคุมจะอ่านค่าจากเซ็นเซอร์ที่ได้รับการปรับเทียบตามระนาบของแผ่นวีเซอร์ ไม่ใช่จากตัวเครื่องทำความร้อนเอง ดังนั้นค่าอุณหภูมิที่ตั้งไว้จะสอดคล้องกับค่าอุณหภูมิที่แผ่นวีเซอร์ได้รับจริงๆ เครื่องนี้สามารถใช้งานได้ในห้องที่มีมาตรฐานความสะอาดระดับ Class 1–100 ไม่ก่อให้เกิดอนุภาคใดๆ เลย (ได้รับการยืนยันจากการทดสอบในสถานที่จริง) และสามารถทำงานได้ตลอด 24/7 โดยไม่มีการหยุดทำงานโดยไม่คาดคิด ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิอยู่ในช่วง 0.2% ตลอดระยะเวลา 5,000 ชั่วโมงขึ้นไป ดังนั้นค่าอุณหภูมิจึงคงที่ในแต่ละชุดผลิตภัณฑ์
เหตุผลที่เครื่องนี้เหมาะสำหรับการผลิต ในสถานีการอบ คุณต้องการให้อุณหภูมิมีค่าเท่ากันในทุกครั้ง การอบแบบอ่อนเพื่อกำจัดสารละลาย และการอบแบบแข็งเพื่อทำให้มาสก์แข็งตัว หากอุณหภูมิสูงเกินไป อาจทำให้เกิดการสะสมของสารบนพื้นผิวได้ ส่วนหากอุณหภูมิต่ำเกินไป ก็จะทำให้มีสารตกค้างได้ เครื่องทำความร้อนนี้ช่วยให้อุณหภูมิอยู่ในช่วงที่เหมาะสม ลดปริมาณวัสดุที่เสียหาย และช่วยลดเวลาการผลิตได้ การใช้พลังงานก็สอดคล้องกับภาระความร้อนที่เกิดขึ้น ดังนั้นจึงช่วยลดต้นทุนการผลิตได้โดยไม่ส่งผลต่ออัตราการเพิ่มอุณหภูมิ
ข้อควรระวังเล็กน้อย เครื่องนี้ต้องการแหล่งจ่ายไฟที่แยกออกมาโดยเฉพาะ และต้องมีกระแสไฟที่สะอาดและแห้ง มิฉะนั้นความสม่ำเสมอของอุณหภูมิก็จะเปลี่ยนไป การเปลี่ยนขั้วต่อในขณะที่เครื่องกำลังทำงานอยู่ก็อาจทำให้ค่าอุณหภูมิเปลี่ยนไปได้เล็กน้อย ควรวางแผนการติดตั้งให้เหมาะสมกับขนาดของเครื่อง และตรวจสอบค่าอุณหภูมิที่เหมาะสมก่อนเริ่มการผลิต เรามีแผนภูมิการปรับเทียบและรูปแบบสูตรการอบสำหรับการอบแบบอ่อนและแบบแข็ง แต่การปรับแต่งเครื่องก็ยังขึ้นอยู่กับการปรับให้เหมาะสมกับโครงสร้างของแผ่นวีเซอร์และสภาพแวดล้อมในห้องผลิตอีกด้วย