如何充分利用晶圆加热功能
在加热硅晶圆时，关键并不只是提高温度而已，更重要的是要确保热量能够被有效地利用起来。
以普通的石英灯为例，它们会向各个方向辐射能量。如果没有反射器的话，这些能量就会白白浪费在机器外壳的内部。这样一来，一半的电能就白花了。因此，我们使用镀金反射器，以此来避免能量浪费，让热量能够准确地作用于晶圆上。
为什么选择黄金？
原因很简单：黄金对红外光的反射能力远远超过其他材料。铝虽然也可以用，但在高温环境下容易氧化，从而失去光泽。而黄金则能保持稳定的反射性能，确保短波红外光能够准确照射到晶圆上。这样，从电源获取的电能就能真正作用于晶圆上。
难点在于距离问题
不能把灯直接靠近晶圆，否则会导致局部过热。那样一来，晶圆的某些部位会过热，而其他部分则温度较低，最终导致晶圆变形或出现裂纹。
因此，需要保持一定的距离，以确保热量分布均匀。但问题在于，距离越远，能量的强度就越低。为了解决这个问题，我们使用高密度的镀金层来弥补这一缺陷。这样既能实现均匀加热的效果，又能保持近距离照射的高效率。
现实情况
虽然黄金很棒，但它并非万能。这些反射器对清洁度要求极高。哪怕有一点点指纹或灰尘，都会影响到反射效果，进而导致晶圆上出现冷点。因此，必须严格保持清洁，或者将设备置于密封环境中。
最后一点：还要注意冷却系统。所有反射回来的能量都会四处传播，如果冷却系统不够好，那么灯体可能会变得过热。