用于晶圆的定制型红外线加热器

在光刻工艺中，光刻胶的烘烤过程并非可选项，而是一项至关重要的工序。哪怕温度出现0.5°C的偏差，都可能影响到产品的尺寸精度；而加热区域的不均匀性则会导致整个生产批次的良率下降。因此，需要使用性能与原厂产品相当的加热器，同时又不必受制于某一家供应商。 我们为晶圆级热控制提供了定制的红外加热器，这些加...