可持续的制造解决方案

停止加热空气：实现工厂脱碳的更佳方式 如果我们真的想在半导体制造领域实现碳中和，那就必须摒弃那些效率低下的传统电阻式加热方式。这类加热方式效率实在太差了。我们转而使用短波红外加热系统，因为这种系统能够有效避免因大量对流式烤箱带来的能源浪费。 问题在于：传统的加热方式会浪费大量电能。 为了将晶圆加热...