בחדרי הייצור, שינויי הטמפרטורה במהלך תהליכי אופיינה של הוופרים ובמהלך תהליכי חימום הפוטורזיסט אינם ערכים אבסטרקטיים. הם מתבטאים בשגיאות בעובי הקווים, בשאריות של חומרים על הוופר, ובירידה ביעילות הייצור – דברים ברורים ופשוטים. פיתחנו מערכת חימום לאופיינה של המעגלים האלקטרוניים, כדי להפחית את השינויים האלה, וכך לאפשר שליטה טובה יותר בטמפרטורה, כך שהתהליך יתנהל בתוך הטווח המותר.
זהו הדבר החשוב מבחינה טכנית: שיטת החימום בגלי אינפרא-אדום שלנו מאפשרת חימום מהיר ומדויק, עם רמת אחידות של ±0.1°C. התגובה של המערכת מהירה מספיק כדי להגיע למצב יציב תוך שניות, מה שמקצר את זמן התהליך מבלי לפגוע באחידות שלו. המערכת פועלת בחדרי ייצור נקיים מסוג Class 1–100, ללא יצירת חלקיקים, וזה מאומת באופן ישיר. כך ניתן לקבל אמינות 24/7, ללא הפסקות בלתי צפויות, ושליטה טובה בטמפרטורה, כך שהתהליך יתנהל בתוך הטווח המותר, לאורך כל התהליך.
למה זה עובד בצורה טובה: במפעלי ליתוגרפיה, המערכת מאפשרת חימום של הוופרים, חימום הפוטורזיסט לפני השימוש בו, וחימום לאחר השימוש בו, כך שהטמפרטורה נשמרת ברמה קבועה. זה אומר פחות עבודות תיקון, פחות בזבוז של חומרים, ושליטה טובה יותר באיכות המוצרים. צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שהמסה התרמית נמוכה וזמן הפעולה קצר. כך ניתן לשמור על אחידות ועל אמינות התהליך, לאורך כל התהליך.
כמה פרטים טכניים: ההתקנה כוללת התאמה של ממשק החיבור של הוופרים ווידוא שהאור באינפרא-אדום עובר דרך חלון החדר – אנו מספקים את השרטוטים הדרושים ואת הנהלי הבדיקה. המערכת פועלת בצורה הטובה ביותר כאשר ההתאמה של המראות נשמרת ברמה גבוהה, והנורה פועלת בעוצמה המותרת. שימוש יתר בנורה גורם לקיצור חיי הנורה ועלול לגרום לשינויים בטמפרטורה. יש להחליף את הנורה באופן תדיר ולבצע כיול קבוע, כדי לשמור על אחידות ועל אמינות התהליך.