왜 웨이퍼 히터의 절연 성능을 꼭 확인해야 하는가?
고진공 환경에서 웨이퍼를 가열할 때는 오류가 있을 여지가 전혀 없습니다. 아주 작은 전기 누출만 있어도 모든 것이 망가집니다. 그러면 제품 생산이 중단되고, 큰 문제가 발생합니다.
우리는 히터가 혹독한 열적 변화에도 견딜 수 있도록 설계하지만, 실제로 가장 큰 문제는 절연 장벽의 파괴입니다. 코팅에 있는 작은 구멍이나 약간 손상된 전선만으로도 감전이 발생할 수 있습니다. 이러한 상황을 방지하기 위해 우리는 많은 시간을 투자합니다.
100%의 고전압 테스트와 절연 저항 테스트를 하는 이유
우리는 단순히 몇 개의 히터만 검사하는 것이 아닙니다. 우리 공장을 나가는 모든 히터는 엄격한 고전압 내성 테스트와 절연 저항 테스트를 거칩니다.
히터가 제대로 작동하는지 확인하는 것은 쉽습니다. 하지만 우리가 하는 것은 그게 아닙니다. 우리는 절연층이 얼마나 견딜 수 있는지 확인하려는 것입니다.
문제는, 일부 결함들은 보이지 않는다는 것입니다. 석영 코팅에 있는 미세한 균열이나 세라믹에 있는 작은 결함들은 일반적인 저전압 테스트에서는 드러나지 않습니다. 하지만 작동 온도에 도달하면 그 결함들이 문제가 됩니다.
공장에서 고전압을 가함으로써, 우리는 그러한 약점들을 미리 발견할 수 있습니다. 기계 안에서 히터가 고장나는 것보다는 실험실에서 고장나는 게 낫습니다.
능률과 공간의 타협
고밀도의 가열을 원한다면, 히터의 크기를 최소화해야 합니다. 그렇게 되면 가열 요소와 접지된 샤시 사이의 간격이 매우 좁아집니다.
그러나 그 간격을 줄이면 문제가 생깁니다. 전기적 문제가 발생할 수 있습니다. 필요한 열량은 얻을 수 있지만, 절연 장벽에는 엄청난 부담이 가해집니다.
또한, 시스템의 접지가 제대로 되어 있지 않으면, 아무리 완벽한 히터라도 전류가 누설될 수 있습니다. 그래서 우리는 절연 저항이 킬로옴 이상으로 유지되도록 합니다. 그래야만 안심할 수 있습니다.
“신규 제품의 고장”은 더 이상 없어야 합니다
새로운 부품이 설치된 직후에 고장나는 것은 누구나 싫어합니다. 우리는 이를 “신규 제품의 고장”이라고 부릅니다. 이는 생산성을 크게 저하시킵니다.
우리가 제공하는 히터라면, 그런 걱정은 필요 없습니다. 램프가 안정적으로 작동하는지, 절연 장벽이 제대로 작동하는지 걱정할 필요가 없습니다. 이미 검증이 완료된 상태입니다.
그저 연결만 하고, 온도를 설정한 다음, 안전이 보장된 상태에서 작업을 계속할 수 있습니다.