Üretim sürecinde, fotoğraf direnci küçük sapmaları affetmez. Yumuşak pişirme işlemi sırasında 2°C’lik bir sapma olursa, bu durum pozlama sonrasında özelliklerde bozulmalara neden olur. Sert pişirme işlemi sırasında ise kenarlar aşırı ısınır ve aşındırma işlemi düzgün şekilde gerçekleşemez. Bu tür sapmaları ortadan kaldırmak için temiz oda ortamında kızılötesi lambalar kullanılır.
Önemli olan faktörler
Kızılötesi lamba, kısa dalga boyundaki ışınlarla doğrudan fotoğraf direnci tabakasına etki ederek onu ısıtır; taşıyıcıyı ise ısıtmaz. Wafer’in her yerinde istenen sıcaklık ±0,1°C içinde sabit tutulur ve tekrarlanabilirlik de ±0,05°C seviyesindedir. Işık kaynağı kuvars-halojen tipindedir ve katmanlı akış sistemi altında parça üretmeyen, Class 1–100 standardına uygun bir temiz oda ortamında yer alır. Güç yoğunluğu 150 mm ile 300 mm arasındaki waferler için ayarlanabilir ve hız kontrolü sayesinde ince film yapıları hem yumuşak hem de sert pişirme işlemlerinden zarar görmez. Sistem, fabrikalarda kesintisiz olarak çalışır ve 5.000 saatten fazla kullanımdan sonra bile çıktıdaki sapmalar %5’in altında kalır.
Pratikte bu sistemin başarılı olmasının nedeni, termal hassasiyetin litografi işlemlerinin gerekliliklerine uymasıdır. Lamba, yumuşak pişirme, sert pişirme ve sonrasındaki işlemler için gerekli olan termal koşulları sağlar; böylece tüm ürünlerde boyut kontrolü tutarlı kalır. Daha yüksek hassasiyet, kenar kusurlarını azaltır, atık oranını düşürür ve kalifikasyon sürelerini kısaltır. Güç tüketimi düşüktür ve hızlı, tekrarlanabilir yanıtlar sayesinde değişim işlemleri daha hızlı gerçekleştirilir.
Birkaç pratik bilgi
Lambanın, maruz kalma ekipmanlarına etki etmemesi için özel bir temiz oda güç devresine ve EMI’den arındırılmış kablolarına ihtiyaç vardır. Wafer boyutları değiştirildiğinde kısa bir ısınma süresi gereklidir ve termal kalibrasyon yapılmalıdır. Işık kaynağı yüksek sıcaklıkta ve yüksek güçle çalıştığı için, temiz oda protokolleri doğrultusunda kullanılmalıdır. Planlı bakım işlemlerinin uzamaması için özel bir değiştirme kitleri de bulunmaktadır.