Litografi işlemlerinde, sadece yarım derecelik bir sıcaklık değişikliğinin bile fotoresist profilini değiştirebileceğini hızla öğrenirsiniz. Eğer sert pişirme işlemi kenarlarda aşırı sıcaklık oluşturursa, izlerde kirler meydana gelir. Class 1–100 temiz oda koşullarında, ısıtıcıdan çıkan tek bir parçacık bile tüm ürünü bozabilir. Bu yüzden temiz oda fırınlarını, ısının sadece wafer üzerinde kalmasını sağlayan kızılötesi ısıtıcılarla donattık.
Teknik açıdan önemli olan şeyler: Doğrudan radyasyon yoluyla ısıtma için kısa dalga boylu kızılötesi kuvars ışık kaynakları kullanılır; bu sayede yanıt süresi saniyenin altındadır. Kapalı döngü kontrolü sayesinde wafer yüzeyindeki sıcaklık ±0,1°C aralığında sabit tutulur; böylece hem yumuşak hem de sert pişirme işlemleri her seferinde standartlara uygun olarak gerçekleşir. Isıtıcı gövdesi paslanmaz çelikten yapılmıştır ve düşük gaz salınımı sağlayan malzemeler kullanılmıştır. Böylece parçacık oluşumu sıfıra indirgenmiştir. Temiz oda standartlarına uygun yapı sayesinde cihaz, metreküp başına düşen parçacık sayısıyla ölçülen kirlilik durumlarına uyumludur.
Gerçek işlemlerde neden işe yarar? Fotoresist sıcaklığa duyarlıdır. Yüksek derecede homojenlik, kenarlardaki sorunları azaltır ve daha iyi kritik boyut kontrolü sağlar; bu da daha az yeniden işleme ve atık anlamına gelir. Hızlı termal tepki süresi, aşırı ısınmayı engeller ve böylece üretim hızı artar. Ayrıca ısı doğrudan wafer’e aktarıldığı için duvarlar ve egzoz sistemleri ısınmaz; bu da enerji tüketimini azaltır. Gerçek güvenilirlik göstergesi ise kesintisiz çalışmadır; bu sistem planlı bakımlar sayesinde 24/7 çalışır.
Dikkat edilmesi gereken noktalar: Kızılötesi ısıtma için görüş hattı gereklidir; bu yüzden wafer’in yönlendirmesi ve aralığı, fırının yapısıyla uyumlu olmalıdır. Eğer ışık kaynağı gölgelenirse soğuk noktalar oluşur. Kurulumdan önce voltajın ve konektörlerin fırın kontrol cihazıyla uyumlu olduğundan emin olun ve egzoz yolunun temiz oda havası akışıyla uyumlu olduğundan emin olun. Homojenliği korumak için düzenli olarak ışık kaynaklarının kontrol edilmesi gerekir.