Yarı üretim sürecinde IR ısıtma teknolojisiyle daha yeşil bir yol izleyelim.
Dürüst olalım: Geleneksel konvektif fırınlar aslında devasa ve enerji tüketen cihazlardır. Yarı iletken sektöründe hepimiz “kurşunsuz” ve çevre dostu ürünler üretmeye çalışıyoruz; ancak bir wafer’i kurutmak için büyük miktarda havayı ısıtmak zaman ve para israfıdır.
İşte bu yüzden giderek daha fazla kişi infrared (IR) ısıtma teknolojisine yöneliyor. Tüm odayı ısıtmak yerine, doğrudan yüzeyi ısıtıyorsunuz.
Neden enerji tasarrufu sağlar?
Standart kurutma fırınlarını düşünün: Duvarları, havayı, hava sızıntılarını… Her şeyi ısıtıyorsunuz. Bu oldukça verimsizdir.
IR teknolojisi ise farklıdır. Elektromanyetik radyasyon kullanarak enerjiyi doğrudan fotoresist veya yapıştırıcıya iletiyor. Buna “seçici ısıtma” diyoruz; basitçe söylemek gerekirse, sadece ısınması gereken yerleri ısıtıyorsunuz.
En iyi yanı ise, hazırlık süresinin saatlerden saniyelere düşmesidir. Çok hızlı. Ve bu da her wafer başına ödenen elektrik faturasını önemli ölçüde azaltır.
Toksinlerden kurtulmak
Kurşunsuz standartlar oldukça zordur; çünkü istenen sıcaklık aralığı çok dar. Eğer biraz fazla ısı uygularsanız, devreleri bozabilir veya lehim noktalarında sorunlar oluşabilir.
IR teknolojisiyle ise dalga boyunu seçebilirsiniz: kısa, orta veya uzun. Böylece kimyasalların ihtiyaç duyduğu sıcaklığı tam olarak elde edebilirsiniz. Bu sayede sıcaklık kontrolü çok daha kolay olur. Bu kadar hassasiyet sayesinde, sıcaklık altında işlemleri stabil tutmak için kurşun içeren katkı maddelerine ihtiyaç kalmaz.
Gerçek durum
IR teknolojisinin sihirli bir çözüm olduğunu söylemiyorum. Bazı dezavantajları var.
Öncelikle sensörleri doğru yerleştirmeniz gerekir. Eğer termokupllar konvektif fırınlarda olduğu gibi yerleştirilirse, soğuk noktalar oluşur. Hava hareket etmediğinden, yerleşim çok önemlidir.
Ayrıca yüksek yoğunluklu IR lambaları çok fazla enerji üretir. Eğer koruma önlemlerini ihmal ederseniz, cihazın elektronik bileşenleri zarar görebilir. Bu hiç de iyi bir durum değildir.
Veriminizi bozmadan bu teknolojinin işe yaramasını istiyorsanız, kapalı döngülü PID kontroller kullanın. Sıcaklığı ±1°C aralığında tutmak, tüm süreci daha az stresli hale getirir ve kontrol cihazlarının daha iyi çalışmasını sağlar.