На виробничій лінії показник якості залежить від температури – все дуже просто. Навіть незначна зміна температури на 0,5°C під час процедури пом’якшення фотолаку може призвести до зміни критичних розмірів елементів, збільшення кількості частинок та перетворення готових деталей на непридатні для використання. Ми створили нагрівачі на основі вуглецевих нанотрубок, щоб усунути необхідність передбачення температурних умов під час процесу виробництва.
Що є важливим у цьому процесі
Ми обрали нагрівачі на основі вуглецевих нанотрубок, оскільки вони швидко реагують на зміни температури, забезпечують локальне нагрівання та стабільну емісивність. У поєднанні з короткохвильовим інфрачервоним випромінюванням це дозволяє ефективно передавати енергію. Результатом є однорідність температури в активній зоні при значенні ±0,1°C, а також стабільність параметрів нагріву при значенні ±0,2°C. Контроль температури дозволяє утримувати її в заданих межах без перевищень, а стабільність зберігається протягом тривалих процедур нагріву та висушування. Такий дизайн не створює жодних частинок та підходить для використання в чистих приміщеннях класу 1–100. Замкнений цикл керування забезпечує безперебійну роботу протягом всього часу роботи.
Чому це важливо для літографії та інших процесів
У літографії необхідно досягти правильної в’язкості фотолаку під час процедури пом’якшення, а також ефективно видалити розчинники. Під час процедури жорсткого нагрівання необхідно забезпечити стабільне зв’язування молекул фотолаку, щоб форма візерунка залишалась незмінною. Наші нагрівачі забезпечують необхідну однорідність та стабільність, що дозволяє контролювати розміри елементів та зменшувати варіації на краях візерунка. Висушування пластин відбувається більш ефективно, з меншою кількістю дефектів на поверхні та меншою кількістю необхідних корекцій.
Швидка реакція нагрівачів скорочує час виконання процесу, а ефективне використання інфрачервоного випромінювання зменшує споживану енергію. Це дозволяє розширити можливості процесу, зменшити кількість відходів та подовжити інтервали технічного обслуговування.
Що потрібно врахувати під час планування
Нагрівачі на основі вуглецевих нанотрубок потребують окремого джерела живлення та системи керування, які будуть відповідати характеристикам вашого обладнання та вимогам безпеки. Очікуйте короткий час налаштувань для досягнення оптимальних параметрів нагрівання для вашого фотолаку та підкладки.
Система є надійною, але все одно необхідно перевірити ефективність теплового зв’язку з чаном та камерою на вашому обладнанні – інакше не буде можливості досягти необхідної однорідності температури. Як тільки все буде налаштовано правильно, процес буде працювати стабільно. Перерви в роботі виникають лише тоді, коли ви самі це вирішите.