Під час процесу нанесення фоторезисту навіть невеликі відхилення не прощаються. При помірній температурі нагрівання відхилення становлять 2°C, що призводить до збійності форми елементів після обробки. При високій температурі нагрівання краї пластини починають деформуватися, що також впливає на якість продукту. Ми встановлюємо інфрачервону лампу на рабочому столі у чистій кімнаті, щоб усунути ці відхилення прямо на місці обробки.
Що є важливим за суттю
Інфрачервона лампа впливає безпосередньо на шар фоторезисту за допомогою короткохвильового інфрачервоного світла, тож нагрівається саме фоторезист, а не підкладка. Це дозволяє підтримувати постійну температуру в межах ±0,1°C, а повторюваність результатів – приблизно ±0,05°C з одного процесу обробки до іншого. Випромінювач складається з кварц-галогенового елемента, розміщеного у чистій кімнаті класу 1–100, яка не виділяє частинок під час роботи. Щільність потужності може бути налаштована для пластин розміром від 150 до 300 мм. Швидкість нагрівання контролюється так, щоб тонкі плівки можна було обробляти як при помірній, так і при високій температурі. Система працює цілодобово без перерв, а відхилення параметрів після 5 000 годин роботи залишаються меншими за 5%.
Це можливо завдяки точності терморегулювання, яка відповідає вимогам процесу літографії. Лампа дозволяє підтримувати оптимальну температуру під час всіх етапів обробки, що забезпечує стабільність параметрів продукту. Краща однорідність температури зменшує кількість дефектів на краях пластини, знижує кількість відходів та скорочує час на підготовку продукту до використання. Споживання енергії є низьким, а швидке та точне реагування лампи дозволяє швидко змінювати параметри обробки, не порушуючи якості продукту.
Кілька практичних аспектів
Лампа потребує окремої електромережі у чистій кімнаті та кабелів, які не створюють електромагнітних перешкод, щоб не впливати на обладнання для обробки. При зміні розміру пластини необхідно провести коротку процедуру розігріву та калібрування. Випромінювач працює при високих температурах, тож його потрібно обробляти відповідно до правил чистої кімнати. Ми також надаємо комплект для швидкої заміни елементів, щоб технічне обслуговування не затягувалося.